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怎么根据氯化氢的本身特性来进行选择

发布时间:2020-06-15 点击量:

    氯化氢气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的氯化氢气体泄漏风险。

    管件与管件间的连接最好以轨道式焊接法(orbital welding)来接合,对于不锈钢的焊接要采用氩弧焊,并向施焊管内通入同等纯度的氩气,这样可以确保连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,从而造成氯化氢气体管件的污染。

    管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的氯化氢气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度氯化氢气体的用气要求和氯化氢气体本身特性进行选择。

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